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高精度微型振鏡/壓電掃描鏡
AU-M3-RS微型振鏡將微型壓電馬達、精密導向系統(tǒng)、位移傳感器、微處理器集成到緊湊的空間中，該模塊擁有超小的體積（直徑<12mm），在緊湊的空間中包含一個世界上zui小的壓電馬達和IC驅動，但卻可以提供更高的功率和可靠性，精度比電磁電機高十倍。內置微處理器及PID控制器，無需外加控制器，只需要通過標準的I2C 或者SPI接口輸入簡單的串行命令就可以驅動旋轉臺。內置位移傳感器，使微型振鏡的角分辨率達到0.025°。采用*的自鎖設計，只有在移動時才使用動力，使其擁有極低的功耗。
壓電陶瓷電機微型振鏡、壓電陶瓷電機驅動微型振鏡、微機械微型振鏡，微型振鏡，MENS掃描鏡，微型掃描鏡
高精度微型振鏡/壓電掃描鏡
不需要外部控制器。該模塊將PID控制器集成到電路板上，只需要通過標準的I2C 或者SPI接口輸入簡單的串行命令就可以驅動該控制器。可以通過USB適配器連接電腦，直接通過軟件控制聚焦模塊的運動。操作簡單使用方便。
AU-M3-RS擁有以下幾種開發(fā)套件：
①光束控制和鏡面定位系統(tǒng)，該系統(tǒng)是一個完整的光束控制系統(tǒng)。在緊湊的體積（直徑12mm）中包含壓電馬達、位置傳感器、軸承以及內置控制器。在微型振鏡上安裝了一個鍍鋁膜的鏡子，每秒可旋轉1100°，精度可達到0.025°。點對點光束控制和動態(tài)掃描頻率可達100Hz。鏡子的偏轉角度可達到±20°采用*的自鎖設計，只有在移動時才使用動力，使其擁有極低的功耗。輸入電壓只需要3.3V。
單軸鏡面定位開發(fā)套件（AU-DK-M3-RS-U-1M-20）
雙軸光束控制系統(tǒng)（AU-DK-M3-RS-U-2M-20-L）
②旋轉定位平臺（AU-M3-RS-U-360）是集壓電馬達、位置傳感器、軸承以及內置控制器于一體的運動系統(tǒng)。但是其擁有超小的體積，只有12（D）′12.5（H）。該系統(tǒng)可以提供連續(xù)的360°運動，并且擁有位置反饋系統(tǒng)，使其分辨率可達到0.025°。該微型振鏡只需要輸入3.3V的直流電壓，運動時耗能僅為500mW，因此可以用電池或者USB作為電源，這非常利于手提和便攜式設備。
u 主要特點
成本低
超小尺寸
低功耗
無外加控制器
高分辨率（0.0057°）
u 主要應用
皮膚科激光、熒光顯微鏡和成像儀器、體內和體外的微激光手術、3D打印、激光雷達、三維測量、遙感、防抖動設備、激光打標、激光雕刻、自由空間光通信、目標指示、目標探測、目標跟蹤等。
u 主要參數(shù)
型號 參數(shù) | AU-M3-RS-U-360 | AU-DK-M3-RS-U-1M-20 | AU-DK-M3-RS-U-2M-20-L |
Rotation Range | 360 deg continuous rotation | +/- 20 deg | +/- 20 deg |
Speed | > 1100 deg/sec | > 1100 deg/sec | > 1100 deg/sec |
Acceleration | > 1,000,000 deg/sec2 | > 1,000,000 deg/sec2 | > 1,000,000 deg/sec2 |
Stall Torque (min) | 0.04 N-mm | 0.04 N-mm | 0.04 N-mm |
Holding Torque (min) | 0.08 N-mm (zero power) | 0.08 N-mm (zero power) | 0.08 N-mm (zero power) |
Recommended Maximum Payload mounted to rotating shaft (Payload must be balanced) | |||
Mass | 3 g | 3 g | 3 g |
Inertia | 350 g-mm2 | 350 g-mm2 | 350 g-mm2 |
CLOSED-LOOP performance (with built-in position sensor) | |||
Recommended Step Frequency | Up to 100 Hz | Up to 100 Hz | Up to 100 Hz |
Resolution (encoder resolution) | 0.025 deg (440 µrad) absolute | 0.025 deg (440 µrad) absolute | 0.025 deg (440 µrad) absolute |
Repeatability | +/-0.05 deg (880 µrad) | +/-0.05 deg (880 µrad) | +/-0.05 deg (880 µrad) |
Accuracy | 0.25 deg (4400 µrad) | 0.25 deg (4400 µrad) | 0.25 deg (4400 µrad) |
Maximum Closed-Loop Step & Settle Times | 0.96 g-mm 2 inertial load* | 0.99 g-mm 2 inertial load* | 0.99 g-mm 2 inertial load* |
0.5 deg | 9ms | 9ms | 9ms |
5 deg | 14ms | 14ms | 14ms |
20 deg | 21ms | 21ms | 21ms |
OPEN-LOOP performance (external position sensor provided by user) | |||
Resolution | < 0.0057 deg (< 100 µrad) | <0.0057 deg (<100 µrad) | <0.0057 deg (<100 µrad) |
Accuracy | Typically better than 10% of distance travelled after calibration | ||
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